三星計(jì)劃到2030年實(shí)現(xiàn)芯片工廠完全自動(dòng)化，正開發(fā)本土自研智能傳感器

  ICC訊  三星電子正在開發(fā)其“智能傳感系統(tǒng)”，旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運(yùn)營(yíng)方式。該系統(tǒng)主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和分析生產(chǎn)過(guò)程。據(jù) ET News 報(bào)道，三星最終計(jì)劃到 2030 年，使其芯片工廠實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化，無(wú)需人工操作。

  三星的最終目標(biāo)是到 2030 年擁有完全無(wú)人值守的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要開發(fā)能夠管理大量數(shù)據(jù)并自動(dòng)優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)是該計(jì)劃的重要組成部分，預(yù)計(jì)將在使這些智能、全自動(dòng)晶圓廠成為現(xiàn)實(shí)方面發(fā)揮至關(guān)重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項(xiàng)目投資數(shù)千萬(wàn)韓元。

  三星目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測(cè)量晶圓上等離子體的均勻性，報(bào)道稱這一點(diǎn)至關(guān)重要，因?yàn)榘雽?dǎo)體制造中的蝕刻、沉積和清潔等工藝的結(jié)果，很大程度上受到等離子體均勻性的影響。

  報(bào)道還提到這些傳感器是在韓國(guó)設(shè)計(jì)和制造的。三星等韓國(guó)芯片制造商目前嚴(yán)重依賴外國(guó)工具來(lái)實(shí)現(xiàn)此類先進(jìn)工藝，智能傳感器的本地制造標(biāo)志著一個(gè)重大變化，三星正在擺脫外國(guó)依賴。