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年產(chǎn)120臺(tái)化合物半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備,這個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備項(xiàng)目封頂

摘要:中晟光電位于臨港的研發(fā)和生產(chǎn)基地建設(shè)項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)順利封頂,可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)化合物半導(dǎo)體120臺(tái)MOCVD設(shè)備,研發(fā)中心將具備完整的第二代、第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)測(cè)試,覆蓋各種MOCVD設(shè)備技術(shù)和工藝研發(fā)/產(chǎn)業(yè)化的綜合能力。

  2月18日,中晟光電設(shè)備(上海)股份有限公司位于臨港的研發(fā)和生產(chǎn)基地建設(shè)項(xiàng)目主體結(jié)構(gòu)順利封頂。

  據(jù)了解,項(xiàng)目建筑面積21,180.73平方米,包含千級(jí)潔凈室1,700平方、萬級(jí)潔凈室4,000平方、十萬級(jí)潔凈室2,000平方,涵蓋了辦公、研發(fā)、生產(chǎn)、會(huì)議、培訓(xùn)等眾多區(qū)域。

  項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)化合物半導(dǎo)體120臺(tái)MOCVD設(shè)備,研發(fā)中心將具備完整的第二代、第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)測(cè)試,覆蓋各種MOCVD設(shè)備技術(shù)和工藝研發(fā)/產(chǎn)業(yè)化的綜合能力。

  中晟光電成立于2011年,位于上海張江。公司專注于研發(fā)和生產(chǎn)用于制造LED、第二/三代半導(dǎo)體元器件的MOCVD設(shè)備,是國(guó)內(nèi)少數(shù)擁有自主核心技術(shù)的MOCVD制造企業(yè)之一。

  第三代半導(dǎo)體方面,中晟光電逐年擴(kuò)大在第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。2020年,公司的第三代半導(dǎo)體GaN分立器件用ProMaxy® PD設(shè)備就已進(jìn)入市場(chǎng)評(píng)估驗(yàn)證階段;公司獲得由上海浦東科創(chuàng)集團(tuán)有限公司領(lǐng)投的1.13億元資金,用于研發(fā)和生產(chǎn)第二/三代半導(dǎo)體分立器件高端設(shè)備。

  2022年9月,公司成功向國(guó)內(nèi)客戶發(fā)運(yùn)首臺(tái)砷化鎵/磷化銦(GaAs/InP)外延MOCVD(金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積)設(shè)備ProMaxy PE。

  LED方面,據(jù)人民網(wǎng)報(bào)道,公司曾與中微公司一同在LED照明領(lǐng)域打破了德國(guó)愛思強(qiáng)和美國(guó)Veeco對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的長(zhǎng)期壟斷。

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關(guān)鍵字: MOCVD 磷化銦
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