ICC訊 9月16-18日,領(lǐng)先的晶圓級自動化設(shè)備商吾拾微電子(蘇州)有限公司攜一系列高端鍵合、解鍵合晶圓設(shè)備精彩亮相第23屆CIOE中國光博會,與光通訊行業(yè)客戶以及專業(yè)人士交流互動,獲得現(xiàn)場觀眾高度關(guān)注。
吾拾微專注于晶圓后端鍵合解鍵合設(shè)備、鍵合膠以及配套材料的開發(fā)、銷售,以務(wù)實創(chuàng)新的理念,為半導(dǎo)體行業(yè)客戶提供“交鑰匙”級別的系統(tǒng)解決方案??偨?jīng)理沈總表示,在今年光博會舞臺上,公司向行業(yè)客戶介紹了鍵合解鍵合設(shè)備、臨時鍵合膠、旋涂清洗一體機、薄片晶圓烘干機、載片系列以及調(diào)針機、自動磨針機等產(chǎn)品。
其中,鍵合解鍵合設(shè)備應(yīng)用于超薄晶圓加工,主要為減薄以及背部工藝(光刻、刻蝕等),在快速鍵合、分離的同時,降低破片率。公司可以提供根據(jù)不同的鍵合膠類型,可直接選擇工藝方案,減少實驗時間,過程完全自動化。
在核心技術(shù)方面,吾拾微鍵合解鍵合設(shè)備使用負壓或零壓解鍵合,保證不碎片(6 inch,75mm無壓力)的同時,減少拉力,防止背部劃傷。背部鍍金屬后,對解鍵合設(shè)備的要求提高,傳統(tǒng)的吸片方式已滿足不了,吾拾微電子采用倒置式,解決背部劃傷問題。
公司由資深半導(dǎo)體成員組建,超過10余年的行業(yè)經(jīng)驗,具備先進的研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)能能力。公司產(chǎn)品均擁有獨立自主的知識產(chǎn)權(quán),并在國內(nèi)處于領(lǐng)先水平。半導(dǎo)體發(fā)展至今正朝3nm方向演進,ASML作為光刻廠商追求著半導(dǎo)體水平方向的極限,而吾拾微電子則追求半導(dǎo)體垂直方向的極致,最終目標完全移除襯底。
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