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【國(guó)內(nèi)】上海光機(jī)所七項(xiàng)光科技項(xiàng)目近期通過(guò)驗(yàn)收
訊石光通訊網(wǎng) 發(fā)布時(shí)間:2006/3/21 9:31:16 編者:ICCSZ
摘要：
我所承擔(dān)的上海市光科技項(xiàng)目，近期在上海市科委組織下陸續(xù)進(jìn)行了結(jié)題驗(yàn)收，這些項(xiàng)目分別是： 1．精密光電
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我所承擔(dān)的上海市光科技項(xiàng)目，近期在上海市科委組織下陸續(xù)進(jìn)行了結(jié)題驗(yàn)收，這些項(xiàng)目分別是：
1．精密光電測(cè)控研發(fā)中心程兆谷研究員負(fù)責(zé)的“硅片缺陷自動(dòng)檢測(cè)儀研制”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在傾斜入射激光掃描散射檢測(cè)技術(shù)，高效率大數(shù)值孔徑散射光收集和光電檢測(cè)技術(shù)，提高探測(cè)靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動(dòng)檢測(cè)儀”樣機(jī)。該樣機(jī)的研制成功對(duì)于改變我國(guó)大規(guī)模集成電路專(zhuān)用檢測(cè)設(shè)備長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口局面，研制和開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備取得重要進(jìn)展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負(fù)責(zé)的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標(biāo)要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺(tái)專(zhuān)用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專(zhuān)用鍍膜機(jī)群。
3．信息光學(xué)開(kāi)放研究實(shí)驗(yàn)室瞿榮輝研究員負(fù)責(zé)的“大功率半導(dǎo)體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組建成了大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)平臺(tái)，在大功率半導(dǎo)體激光器封裝以及大功率測(cè)量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導(dǎo)體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導(dǎo)體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負(fù)責(zé)的“超短脈沖激光誘導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)顯微改性的研究和應(yīng)用探索”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研究了飛秒激光的各項(xiàng)參數(shù)、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對(duì)不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過(guò)多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲(chǔ)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室耿永友研究員負(fù)責(zé)的“可錄型高密度數(shù)字多用光盤(pán)（DVD-R）存儲(chǔ)材料和盤(pán)片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中建立了高密度可錄光盤(pán)材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線和高密度可錄光盤(pán)（DVD－R）盤(pán)片研發(fā)平臺(tái)。
6．先進(jìn)激光技術(shù)應(yīng)用系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室向世清副研究員負(fù)責(zé)的“基于光纖光柵的新型溫度/應(yīng)力傳感器”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研制出了應(yīng)力和溫度兩種光線光柵傳感器樣機(jī)，達(dá)到了系統(tǒng)功能、應(yīng)變、溫度傳感指標(biāo)，探索了該類(lèi)傳感器更符合實(shí)際的設(shè)計(jì)方式和應(yīng)用規(guī)律，完成了多用途傳感元件的傳感機(jī)理、方法、設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機(jī)已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎(chǔ)。
7．強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高鴻奕副研究員負(fù)責(zé)的“高精度大口徑光學(xué)波面測(cè)量技術(shù)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在抗環(huán)境擾動(dòng)方面，設(shè)計(jì)并建立了一個(gè)以二級(jí)免充氣抗震平臺(tái)為主的測(cè)量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測(cè)量裝置。
以上項(xiàng)目，均已圓滿(mǎn)完成計(jì)劃任務(wù)書(shū)規(guī)定的研究成果和考核指標(biāo)，經(jīng)驗(yàn)收委員會(huì)認(rèn)定，一致同意通過(guò)驗(yàn)收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
1．精密光電測(cè)控研發(fā)中心程兆谷研究員負(fù)責(zé)的“硅片缺陷自動(dòng)檢測(cè)儀研制”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在傾斜入射激光掃描散射檢測(cè)技術(shù)，高效率大數(shù)值孔徑散射光收集和光電檢測(cè)技術(shù)，提高探測(cè)靈敏度和獲得高的新噪比關(guān)鍵技術(shù)等方面取得突破。研制成功了“硅片缺陷自動(dòng)檢測(cè)儀”樣機(jī)。該樣機(jī)的研制成功對(duì)于改變我國(guó)大規(guī)模集成電路專(zhuān)用檢測(cè)設(shè)備長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口局面，研制和開(kāi)發(fā)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的國(guó)產(chǎn)化設(shè)備取得重要進(jìn)展。
2．光學(xué)薄膜技術(shù)研發(fā)中心張偉麗研究員負(fù)責(zé)的“全固態(tài)激光器薄膜的關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在玻璃基底上成功的鍍制出符合課題指標(biāo)要求的薄膜，在研發(fā)中心已有3臺(tái)專(zhuān)用于全固態(tài)激光器薄膜生產(chǎn)的專(zhuān)用鍍膜機(jī)群。
3．信息光學(xué)開(kāi)放研究實(shí)驗(yàn)室瞿榮輝研究員負(fù)責(zé)的“大功率半導(dǎo)體泵浦激光器封裝技術(shù)及其產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組建成了大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)平臺(tái)，在大功率半導(dǎo)體激光器封裝以及大功率測(cè)量等方面取得了成果，成功研制出了大功率半導(dǎo)體激光器BaR條、疊層組件、脈沖大功率半導(dǎo)體激光器等。
4．激光與光電子功能材料研發(fā)中心姜雄偉研究員負(fù)責(zé)的“超短脈沖激光誘導(dǎo)材料結(jié)構(gòu)顯微改性的研究和應(yīng)用探索”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研究了飛秒激光的各項(xiàng)參數(shù)、激光的掃描速度，以及不同倍率的聚焦鏡頭對(duì)不同形狀和尺寸微孔的激光加工特性的影響，并通過(guò)多次掃描的方法制成了微孔陣列。
5．高密度光存儲(chǔ)技術(shù)實(shí)驗(yàn)室耿永友研究員負(fù)責(zé)的“可錄型高密度數(shù)字多用光盤(pán)（DVD-R）存儲(chǔ)材料和盤(pán)片產(chǎn)業(yè)化技術(shù)開(kāi)發(fā)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中建立了高密度可錄光盤(pán)材料研發(fā)中心（與上海飛凱光電材料有限公司共建），形成DVD－R染料研發(fā)中試線和高密度可錄光盤(pán)（DVD－R）盤(pán)片研發(fā)平臺(tái)。
6．先進(jìn)激光技術(shù)應(yīng)用系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)室向世清副研究員負(fù)責(zé)的“基于光纖光柵的新型溫度/應(yīng)力傳感器”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組研制出了應(yīng)力和溫度兩種光線光柵傳感器樣機(jī)，達(dá)到了系統(tǒng)功能、應(yīng)變、溫度傳感指標(biāo)，探索了該類(lèi)傳感器更符合實(shí)際的設(shè)計(jì)方式和應(yīng)用規(guī)律，完成了多用途傳感元件的傳感機(jī)理、方法、設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)和產(chǎn)業(yè)化方案的研究。樣機(jī)已具備產(chǎn)業(yè)化的前期基礎(chǔ)。
7．強(qiáng)場(chǎng)激光物理國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高鴻奕副研究員負(fù)責(zé)的“高精度大口徑光學(xué)波面測(cè)量技術(shù)”項(xiàng)目。該項(xiàng)目組在抗環(huán)境擾動(dòng)方面，設(shè)計(jì)并建立了一個(gè)以二級(jí)免充氣抗震平臺(tái)為主的測(cè)量環(huán)境，建立了一套高精度的光學(xué)波面測(cè)量裝置。
以上項(xiàng)目，均已圓滿(mǎn)完成計(jì)劃任務(wù)書(shū)規(guī)定的研究成果和考核指標(biāo)，經(jīng)驗(yàn)收委員會(huì)認(rèn)定，一致同意通過(guò)驗(yàn)收。（科研管理處供稿）</FONT></DIV>
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