中科光芯宣布對(duì)外提供外延片生長(zhǎng)服務(wù)

  ICC訊 近日，高速率激光器芯片技術(shù)提供商福建中科光芯宣布對(duì)外提供外延生長(zhǎng)服務(wù)，以滿足家庭寬帶、電信、數(shù)據(jù)通信、光學(xué)傳感、激光雷達(dá)等領(lǐng)域?qū)庑酒粩嘣鲩L(zhǎng)的需求。

  外延片是光芯片核心工藝，直接影響激光器和探測(cè)器的性能和可靠性。中科光芯外延生長(zhǎng)材料覆蓋了常見(jiàn)的III-V族材料銦、鋁、鎵和砷、磷，摻雜源包括了二乙基鋅、二甲基鋅、四溴化碳、乙硅烷等，摻雜濃度介于7E14 ~ 4E19之間可調(diào)，產(chǎn)品可以發(fā)射860~2100nm之間的激光。

  中科光芯是國(guó)內(nèi)最早一批從事激光器芯片設(shè)計(jì)生產(chǎn)的廠家，具有10多年的激光器芯片外延生長(zhǎng)經(jīng)驗(yàn)，每年激光器發(fā)貨5000多萬(wàn)只，是全球主要的PON激光器供應(yīng)商。2022年，中科光芯增加了4臺(tái)全新MOCVD設(shè)備并部署在中科石獅工廠，設(shè)備順利通過(guò)試產(chǎn)驗(yàn)證并進(jìn)入了量產(chǎn)階段。新MOCVD設(shè)備每次可以裝載12片4英寸晶圓，再加上原有的2臺(tái)，中科光芯總共擁有了6臺(tái)MOCVD設(shè)備，使得激光器芯片產(chǎn)能達(dá)到了1.8億片/年，產(chǎn)能完全滿足自己的激光器芯片生產(chǎn)需求的同時(shí)，還能支持外部科研院所和通信、傳感企業(yè)的需求。

  對(duì)比其他公司，中科光芯同時(shí)擁有CCS（Closed Coupled Showerhead）MOCVD和G4式MOCVD，適用于客戶的科研試制、定制設(shè)計(jì)和批量生產(chǎn)。CCS系統(tǒng)Showerhead至Wafer表面僅11~14 mm，便于精準(zhǔn)控制氣體參量；同時(shí)該系統(tǒng)多為石英部件，對(duì)于雜質(zhì)較好管控。G4式又被稱為Planetary系統(tǒng)，大盤(pán)和小盤(pán)均快速旋轉(zhuǎn)，生長(zhǎng)出來(lái)的wafer的一致性較好；同時(shí)G4系統(tǒng)部件多為石墨材料，對(duì)于壓低腔內(nèi)particle數(shù)量很有幫助。

  此外，為了精準(zhǔn)監(jiān)控外延生長(zhǎng)過(guò)程和檢測(cè)外延片的質(zhì)量，中科光芯配置了完備的儀器設(shè)備。對(duì)于一些重要參數(shù)，公司配備了兩套設(shè)備，互相交叉驗(yàn)證，確保萬(wàn)無(wú)一失。

  中科光芯砥礪前行11載，愿意與行業(yè)友人分享所悟所得；不忘初“芯”，愿與廣大朋友攜手前行，共同推動(dòng)祖國(guó)芯片事業(yè)進(jìn)步！

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