CIOE 2024|中國科學院西安光機所及孵化企業(yè)“海地空”科研成果聯(lián)合亮相光博會

ICC訊 9月11日，中國科學院西安光學精密機械研究所（簡稱“西安光機所”）攜陜西光電子先導院科技有限公司、廣東粵港澳大灣區(qū)硬科技創(chuàng)新研究院、重慶中科搖櫓船信息科技有限公司、飛秒光電科技（西安）有限公司4家孵化企業(yè)參展第二十五屆中國國際光電博覽會（簡稱“CIOE中國光博會”）。參展主題為“瞬見萬象 光創(chuàng)未來”，全方位展示研究所及企業(yè)在超快光學技術(shù)、激光通信技術(shù)、光子功能材料與器件等在航空航天、深?？瓶嫉阮I(lǐng)域的新產(chǎn)品、新裝備，彰顯光學應(yīng)用“硬實力”。

西安光機所及孵化企業(yè)聯(lián)合展區(qū)

  作為全球光技術(shù)領(lǐng)域最具影響力的展會之一，本屆光博會在深圳國際會展中心舉辦，為期三天，來自全球超30個國家和地區(qū)的3700余家知名企業(yè)參展，集中展示“光智造”技術(shù)的最新成果。

  海地空多項成果亮相西安光機所展區(qū)

  人類的眼睛只能看到1/24秒之內(nèi)發(fā)生的事情，任何快于這個時間的過程，人類都只能依靠超快診斷儀器。展會上，由西安光機所承研的國家重大科研裝備“高性能條紋相機”吸引了諸多關(guān)注：它可以將超快時間演化物理過程轉(zhuǎn)換為肉眼可辨的空間圖像信息，又稱為“時間放大工具”，對基礎(chǔ)前沿科學研究和重大原始性創(chuàng)新具有重大意義。

  “我所成功研制的系列化高性能條紋相機，使我國成為世界上第三個自主掌握飛秒時間尺度物理量獲取能力的國家，打破了我國高端超快診斷設(shè)備受制于人的窘境，支撐了我國諸多大科學工程、重大專項、基礎(chǔ)前沿等研究?！蔽靼补鈾C所科研人員介紹。

西安光機所展品：條紋相機

  現(xiàn)如今，西安光機所已建成國內(nèi)較為完備的集設(shè)計、生產(chǎn)、檢測為一體的系列化條紋相機研發(fā)基地，成功研制出飛秒條紋相機（450fs）、同步掃描條紋相機（300MHz）、大動態(tài)范圍條紋相機（＞10000:1）等8個系列的條紋相機，不僅實現(xiàn)了關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，也帶動了多類超快光電器件的發(fā)展。

  建設(shè)海洋強國戰(zhàn)略下，水下濕插拔連接器作為重要的關(guān)鍵器件，需求量也越來越大?，F(xiàn)場，西安光機所展示的我國首套通過海試驗證的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光電復合型水下濕插拔連接器吸引了絡(luò)繹不絕的客商駐足觀看。據(jù)西安光機所參會人員介紹，該連接器負責海底觀測網(wǎng)各模塊之間的通信及供電，是整個系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)的關(guān)鍵節(jié)點。此連接器核心指標比肩國際先進水平，目前正在開展長期可靠性測試。

西安光機所展品：水下濕插拔連接器

  在本次展會上，同步展出的還有可實現(xiàn)多目標精準定位的紅外/激光復合探測器；可以克服目前低重頻飛秒加工效率低下瓶頸，實現(xiàn)高效率高質(zhì)量的飛秒冷加工的GHz光纖飛秒激光器；能實現(xiàn)快速圖像采集速率和低至單光子超高靈敏度的ICCD相機；可實現(xiàn)低照度、高分辨、寬動態(tài)、大面積圖像輸出的ICMOS相機；可實現(xiàn)超快單光子探測的微通道板光電倍增管等擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的前沿基礎(chǔ)研究成果。

  在光博會上秀出的科技硬核實力，是西安光機所堅持科技創(chuàng)新、加強基礎(chǔ)研究、探索科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化新模式的集中體現(xiàn)。近年來，西安光機所通過構(gòu)建“研究機構(gòu)+天使投資+創(chuàng)業(yè)平臺+孵化服務(wù)”的創(chuàng)新生態(tài)體系，參與“追光計劃”等，積極發(fā)揮在光子領(lǐng)域的技術(shù)與人才優(yōu)勢，帶動陜西光子產(chǎn)業(yè)全產(chǎn)業(yè)鏈集聚發(fā)展，打造光子領(lǐng)域原始科技創(chuàng)新策源地。

  光電子先導院展示晶圓“光”科技

  在高科技產(chǎn)業(yè)鏈中，下游產(chǎn)品的創(chuàng)新離不開上游技術(shù)的支撐與推動。特別是光子技術(shù)的發(fā)展能夠為產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來變革性的深遠影響，通過光電材料、光電芯片、光電傳感器、光電模組等核心材料器件關(guān)鍵技術(shù)突破及應(yīng)用融合，為相關(guān)產(chǎn)品研發(fā)創(chuàng)新提供了可能性和動力。

  現(xiàn)場，陜西光電子先導院科技有限公司（簡稱“光電子先導院”）帶來的砷化鎵基VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）單孔晶圓、砷化鎵基VCSEL陣列晶圓、砷化鎵IPD（集成無源器件）晶圓、砷化鎵VCSEL快測晶圓共4項最新成果吸引了眾多眼球。

先導院展品：4項晶圓最新成果

  據(jù)光電子先導院技術(shù)人員介紹，自2023年以來，公司已完成了VCSEL單孔晶圓、VCSEL陣列晶圓，以及VCSEL快測晶圓3款產(chǎn)品的全流程工藝開發(fā)，并發(fā)布了PDK（Process Design Kit，工藝設(shè)計套件）。其中，VCSEL單孔晶圓、VCSEL陣列晶圓2款產(chǎn)品通過了1000H的高溫高濕、高溫帶電、冷熱沖擊等可靠性測試?！斑@意味著公司已經(jīng)具備了相應(yīng)的中試代工能力。”該技術(shù)人員表示。

  公開資料顯示，光電子先導院由西安光機所聯(lián)合陜西省科技廳、西安市高新技術(shù)開發(fā)區(qū)與西安中科光機投資控股有限公司（簡稱“西科控股”）、中科創(chuàng)星科技投資有限公司（簡稱“中科創(chuàng)星”）聯(lián)合發(fā)起設(shè)立，成立于2015年。目前配備有150人的完整工藝技術(shù)團隊，擁有先進的化合物芯片關(guān)鍵設(shè)備100余臺（套）和百級到十萬級潔凈廠房8000㎡，已建成光電芯片公共服務(wù)平臺、先進化合物工程創(chuàng)新平臺，正在建設(shè)先進硅光集成技術(shù)創(chuàng)新平臺，解決各類光子芯片創(chuàng)新主體在當前產(chǎn)業(yè)鏈中面臨的研發(fā)中試需求困境，為光子產(chǎn)業(yè)補鏈、強鏈、延鏈提供有力支撐。

  作為陜西省光子產(chǎn)業(yè)共性技術(shù)研發(fā)平臺和陜西省光子產(chǎn)業(yè)鏈“鏈主”單位，光電子先導院始終致力于解決光子企業(yè)和高校項目在初始階段“建不起產(chǎn)線、產(chǎn)品無法驗證、產(chǎn)能無話語權(quán)、市場風險高”四大痛點，至今已為超過100家包括企業(yè)、高校和科研院所在內(nèi)的客戶提供了研發(fā)、中試、檢測等服務(wù)，入駐企業(yè)的多項科技成果及產(chǎn)品填補了國內(nèi)空白。

  光子領(lǐng)域科技成果轉(zhuǎn)化項目集中展現(xiàn)

  同一展區(qū)，廣東粵港澳大灣區(qū)硬科技創(chuàng)新研究院（簡稱“硬科院”）與廣東卓劼激光科技有限公司（簡稱“卓劼激光”）攜帶100W、400W和800W光纖輸出藍光半導體激光器、OCT激光焊接熔深檢測系統(tǒng)等產(chǎn)品亮相本屆光博會。硬科院是由廣州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管委會發(fā)起、西科控股負責運營的廣東省屬事業(yè)單位。卓劼激光發(fā)起于硬科院，面向泛半導體領(lǐng)域高端光源短板，專業(yè)從事深紫外激光器技術(shù)和產(chǎn)品的開發(fā)。

硬科院和卓劼激光展位

  據(jù)介紹，廣東硬科院和卓劼激光自研多款藍光半導體激光器，精心打造“光纖耦合輸出”和“自由空間輸出”兩大系列，功率全面覆蓋100W至3500W?？商峁┧{紅光復合擺動頭、藍紅光復合振鏡、OCT熔深監(jiān)測模塊等關(guān)鍵加工配件，為新能源、電動汽車關(guān)鍵零部件、有色金屬部件的加工提供定制化的解決方案。其中，3500W自由輸出藍光半導體激光器是目前國內(nèi)最高功率的藍光激光器產(chǎn)品，適用于銅、鋁等有色金屬熔覆、增材制造領(lǐng)域，解決相關(guān)材料采用紅外激光加工難、效率低、質(zhì)量差的困境。

  本次一同參與展示的企業(yè)，還有重慶中科搖櫓船信息科技有限公司（簡稱“搖櫓船科技”）、飛秒光電科技（西安）有限公司（簡稱“飛秒光電”）。

  搖櫓船科技成立于2020年12月，是重慶兩江新區(qū)與西安光機所“院地孵化”的硬科技人工智能企業(yè)。公司面向制造業(yè)提供機器視覺器件、智能化傳感硬件、智能工業(yè)機器人、AI智慧平臺及智能數(shù)字工廠系統(tǒng)解決方案，為汽車制造、半導體等領(lǐng)域提供標準化兼具一定柔性的智能視覺裝備及整體解決方案，覆蓋三維精密測量、缺陷檢測、自動化引導、質(zhì)量工藝提升系列等多個環(huán)節(jié)，切實服務(wù)制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。開發(fā)的多款高端工業(yè)相機、鏡頭、光源、傳感器等產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)處于國內(nèi)外領(lǐng)先地位，打破了國外技術(shù)壟斷，廣泛應(yīng)用于汽車、半導體、生物醫(yī)藥等行業(yè)。此次帶來的產(chǎn)品有3D焊接專用相機、3D線激光輪廓相機、3D涂膠質(zhì)量在線檢測系統(tǒng)采集單元、3D雙目結(jié)構(gòu)光相機等。

  飛秒光電是依托西安光機所自聚焦透鏡技術(shù)，通過科技成果轉(zhuǎn)化形成的高科技企業(yè)，主要生產(chǎn)光通信設(shè)備的核心光學元器件，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光電信息、成像等領(lǐng)域產(chǎn)品。自聚焦系列產(chǎn)品的成功產(chǎn)業(yè)化，打破了國外公司在此項目上的壟斷，助力我國乃至全球基礎(chǔ)通信領(lǐng)域降本增效。2007年獲得國家科技進步二等獎。此次參展光博會的產(chǎn)品有自聚焦透鏡和高消光比偏振片等。

  值得一提的是，本屆光博會有20余家中科創(chuàng)星的被投企業(yè)參展，包括鯤游光電、賽富樂斯、立芯光電、銳思智芯、瑞識科技、唐晶量子、鐳神技術(shù)、橙科微電子等，展示大批光子感知、通信、計算及顯示等技術(shù)產(chǎn)品。中科創(chuàng)星作為專注于硬科技領(lǐng)域的早期投資機構(gòu)，從2013年公司成立起就開始關(guān)注和投資光子技術(shù)，至今已投資孵化光電、半導體項目超150家，并形成以光芯片為特色的核心布局。同時，依托陜西光電子先導院，中科創(chuàng)星致力于為光子企業(yè)提供共性技術(shù)服務(wù)平臺，助力打造光子產(chǎn)業(yè)生態(tài)，搶抓光子產(chǎn)業(yè)機遇。